氮气净化方法(工业规模)目前有三种:

(1)氢气净化和氧气净化方法。在催化剂的作用下，普氮中残留的氧气和加入的氢会产生化学反应产生水，其反应类型为2H2+O2=2H2O，然后通过后干燥去除水分，获得以下主要成分的高纯氮:N2≥99.999%，O2≤5×10-6，H2≤1500×10-6，H2O≤10.7×10-6。

(2)氢气净化和氢气净化方法:N2≥99.999%，H2≤5×10-6，H2O≤10.7×10-6。

(3)碳脱氧法。在碳载催化剂的作用下(在一定温度下)，普氮中的残氧与催化剂本身提供的碳发生反应，产生CO2。反应式:C+O2=CO2。然后通过去除CO2和H2O获得以下高纯氮:N2≥99.999%，O2≤5×10-6，CO2≤5×10-6，H2O≤10.7×10-6。